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  一.半导体相关设备 1.分子束外延及薄膜沉积系统 2.等离子刻蚀设备 3.化学气相沉积设备 二.材料分析测试设备 1.扫描电子显微镜 2.透射电子显微镜 3.X射线衍射仪(XRD) 4.X射线光电子能谱(XPS)