无论待测样品是大的还是小的,测量内容是简单的还是复杂的,测量人员是新手还是专家,奥林巴斯STM7系列就是能满足您需求、为您量身打造的测量显微镜产品。
优异的光学性能
STM7系列采用了当前先进光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。因此,观察到的图像具有高分辨率和高对比度,此外,像差也被完全消除,以确保实现对微小细节的高精度测量。
提供操作友好、高精度的3轴测量
随着现代制造技术日益小型化和精密化,高精度测量也日趋重要——不仅是XY轴平面的测量,而且Z轴方向的高精度测量也成为必须。奥林巴斯成为一家成功开发了测量显微镜用采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统的公司,以此响应了这种与日俱增的需求。
严格的可追溯系统确保品质可靠
奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统控制测量显微镜的精确度。并且在安装系统时奥林巴斯也提供了可追溯的校准服务。
适合多种样品的载物台
STM7的特色就是配备有一个可以测量大型样品(包括300 mm晶圆和印刷电路板等)的300 mm×300 mm的载物台。7提供了相同X和Y轴测量行程的大载物台,这样对于大样品就不需要旋转样品。由于X和Y轴的测量行程都比较长,可以将多个样品排列在载物台上,实现更有效的测量。
具有优异的重复性的便捷、精确的聚焦系统
通过将图案投影在视场范围内,由操作者确认上下图案的重合情况,奥林巴斯的聚焦导航系统实现了重复性高的高度测量操作。普通的目测观察进行高度测量时,即使是看上去非常清晰的已经完全合焦的图像,也会出现微小误差。而使用STM7的聚焦导航系统,只需匹配标记便可进行测量,因此减少了操作者的主观性对测量结果造成的影响。
可以消除测量过程中主观性影响的便捷功能
自动边缘检测这个功能检测样品的边缘,自动获取样品的坐标并测量。因此,操作者不再需要指定坐标,这较大程度地降低了操作者的主观性对测量的影响。自动边缘检测的另外一个特色是具有定时功能,实现了到规定的时间后自动获取坐标。定时功能和脚踏开关功能,使操作者能够在手不需要离开载物台手柄的情况下专心测量。