产品介绍
产品编号:YT800000215 产品名称:洁净工作棚 MINi-Environment (超微环境) 使用客户:SMIC GSMC HHNEC
适用于晶圆厂、LED、光电涂装行业,
框架材质:本公司特制之铝型材并配以专利隐藏式连接件连接,摒弃了传统的四面开槽铝型材,本公司自主 开发研制了二面三面开槽,其它的平面铝型材,最大的好处在于不容易积尘,特别适用于 CLASS1 的环境,
封板:顶部采用日本进品防静电不锈明板,下部分采用日本进口5mm防静电PVC板(积水化学),配以本公司专利开发之气密压条封设,气密性极佳
FFU系统:采用德国原装进口EBM电机制作FFU,使用寿命8万小时以上,过滤系统使用进口滤纸制作之超高效过滤器,过滤效率99.99997%at0.1um,净化级别Class 1
源拓净化致力于洁净行业的发展,开发设备洁净室各种生产辅助设备,不锈钢设备,
洁净棚是一种投资少而净化级别高,移动比较方便的简易净化装置。将洁净层流罩FFU放置在由专业净化铝型材组装而成的框架上。顶部由盲板铺盖,密缝严密,四周用防静电帘/防静电有机玻璃围缝使棚区内洁净度达到Class 1-10000级。
洁净工作棚结构比较简单、体积较小、重量轻、适合吊挂或移动,因而增加了在适应工艺多变的大面积厂房应用可能性。加上这种设备固有的内部操作自由度大,无视觉和运输障碍,其发展忽视。它是一种投资少、实施快、性能高、耗能低的局部洁净区设备。
主要特点:
1、模块化、组装式结构设计,施工简便可大大缩短现场施工时间;
2、成本低,移动方便。
3,适用于局部洁净区域洁净度的提高
正面图,微环境适用于半导体晶圆厂特殊机台局部净化之功能
洁净微环境订购热线