聚焦离子束激光离子化纳米质谱成像系统 (FILMER)
-纳米尺寸表面质谱成像
FILMER基于二次离子质谱技术，集成了聚焦离子束，扫描电子显微镜和激光器。
功能
? 二次离子质谱
原理
用聚焦离子束溅射试样表面，收集和分析排出的二次离子；
数据采集
这些二次离子的质量/电荷比及质谱可确定元素，同位素，或分子组成；
?激光二次中性质谱（Laser-SNMS）
原理
用聚焦离子束溅射试样表面，使用激光共振电离大多数溅射中性原子；
数据采集
与二次离子质谱相同
?聚焦离子束精细加工
可以通过连续Ga聚焦离子束连续溅射样品表面除去想要除去的部分；
?二次离子质谱及扫描电子显微镜观测
可实现二次离子质谱及扫描电子显微镜两种观测方式；
主要特点：
1. 高空间分辨率
□ 横向分辨率 < 40nm
□ 质谱分辨率 m/Δm >7000@m/z=56
2. 可原位加工和分析，避免暴露于空气中
□ SEM小损伤观测，可定位值FIB相同位置；
□ 可分析颗粒表面及横截面；
3. 可实现激光二次中性质谱
□ 与传统SIMS相比可显著改善信号灵敏度；
□ 高灵敏度的有机化合物分析；
技术参数：
性能 | | 原始束流 | 30kV Ga+ | 横向分辨率 | 40 nm | 测量范围 | 500μm ~ 500nm | 质谱分析 | 飞行时间（TOF） | 质谱分辨率（m/z = 56) | m/Δm = 7000 | 激光器 | 飞秒激光器 | 激光波长 | 1030nm, 515nm, 355 nm, 257nm | 激光能量 | 10W / 1mJ (1030nm) | 扫描电子显微镜 | 30kV ~ 5 kV | 扫描电子显微镜横向分辨率 | ＜30nm | 样品尺寸 | X25px×Y25px×Z3mm | 机械操作 | 5轴 | 可选 | 电荷中和装置, 转移容器,等 |
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应用案例：
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