产品介绍
HPC1100高压控制器美国LIGHTHOUSE高压气体控制器 HPC1100高压扩散器
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HPC 1100
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1100高压控制器
设计采用了最新的技术,在高压气体成分,HPC 1100允许LIGHTHOUSE 0.1μm的粒子计数器对高压(30-150 psi)的惰性气体系统提供工艺气体污染的监测能力。
HPC 1100的不锈钢设计坚固耐用,可靠,几乎不需要日常维护和校准。在正常操作过程中,惰性气体可被回收-采样过程中使用100%的供气。
LIGHTHOUSE产品,值得您的选择。
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特征
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优点
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应用
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- 可用于任何惰性气体
- 轻松设置
- 安装简单
- 前置流计
- 直观的用户控制
- 安静的操作
- 快速清除和清理
- VCR接头内部和外部
- 不锈钢结构
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- 在正常操作过程中的零气体废物
- 近常压输出
- 低噪声
- 小尺寸
- 便于系统集成
- 2年保修的
- 较低的拥有成本
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- 工艺鉴定
- 半导体制程监控
- 平板过程监控
- 过程趋势分析
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规格
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粒径范围
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0.1μm 或更大
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流速
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1.0 CFM
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输出压力
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接近大气压
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输入压力
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30-150 psi
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兼容气体
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氮,氩气,氦气
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运行噪音
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<60 db
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外壳
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不锈钢
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材质
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316L 不锈钢
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尺寸
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5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm]
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重量
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6 lbs (2.7 kg)
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配件
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随机配件
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采样管; VCR密封件; 尼龙螺帽;套圈
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可选件
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备用采样管; 1/4英寸不锈钢过滤器 (0.5μm, 2μm, 7μm, 15μm)
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