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美国Comdel电源公司介绍

成立于1966年的Comdel电源公司位于美国马塞诸塞州的波士顿海滨，是一家专业致力于生产直流、低频、中频、高频、甚高频全频谱（DC- Khz-80MHz）精密电源的高科技公司。产品可用于半导体、平板显示器、工业加热等广众的领域。

80年代以前，Comdel一直为美国海军提供低噪声远距离通讯电源，80年代以后，军方允许向民品市场提供各种高频设备。

u        首创的全固态RF射频电源用于等离子体放电驱动电源，确立了他在行业中一直处于领先地位。

u        Comdel持有射频电源的一项“S”技术专利，使得高频传输线不再受长度限制。

u        Comdel全部产品安全及质量标准符合“美国国家认证检验实验室标准”。公司通过ISO9001:2000质量认证体系。

产品种类

u        单频射频电源

u        双频射频电源

u        直流电源

u        ESC静电卡盘电源

u        自动调谐匹配网络

产品选型表

 

 

 

CLX 系列低频电源

在世界范围内广泛认可，应用于等离子体真空系统，具有高可靠性的电源

产品性能

CLX系列可提供600W到10,000W功率输出，频率范围为20KHz到2MHz,

可调谐范围为10％。其固态设计使得产品价格低、可靠性高。

应用对象

CLX产品系列可作为射频驱动等离子体系统的电源。该系统可应用于半导体工业。

应用对象包括：刻蚀、RIE、平行板、ICP、射频溅射、CVD和PVD

等系统，也可作为工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源。

产品特点

l           可靠的放大器设计，世界范围内应用驱动等离子系统无故障时间达百万小时。

l           通过译码器和软键输入的局部控制。

l           标准的RS232串口和模拟/数字控制接口。

l           在高VSWR情况下，可以保证一致性的控制电路。

l           卓越的功率监控设计，可测量负载为任何阻抗值下的输出功率。

l           前面板控制和可编程控制。

可供选择项

l           多种可供选择的输入交流电压工作模式

l           主从操作模式

l           外频控制

l           协议

普通技术指标

l           功率控制：0-10VDC，可监控0到最大额定功率输出

l           功率控制线性度：设定功率大于10％额定功率下小于2％

l           频率：20KHz-2MHz间任意频率（可选择频率灵敏度为中心频率+/-10％的产品）

l           频率稳定度：350KHz+/- 1％

 

电参数指标

机械技术指标/认证

CLF系列低频电源

应用于工业加热和等离子工艺，是性能稳定、可靠的低频电源

产品性能

CLF系列低频电源最高可以提供5KW的稳定的功率输出，在半桥状态下工作频率

为20-50KHz，在全桥模式下，工作频率为20-450KHz，在自动调谐时为带宽的

+/-15％。在很多应用领域中，自动调谐和超功率容量的结合可以通过功率改变

反映负载，从而不需要机械调谐匹配网络。

应用对象

CLF系列可以满足应用于半导体加工的射频驱动等离子体系统的需要。应用对象包

括：刻蚀、RIE、平行板、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统，也可用于工业系统

中感应加热和电介质加热的电源。

产品特点

l      输出功率自动调节

l      无预先维护要求，电源运行时间最大化

l      保护线路设计可以防止放大器出现过压、过流、和过载操作

l      在全桥模式下，具有快速自动调谐功能

l      产品符合CLF 5000 CE和SEMI F47安全标准

可选配件

l      多种可供选择的输入交流电压工作模式

l      带有全桥的主/从操作模式

技术指标

l           频率稳定度： +/-1％

l           线路校准： 1％在线路+/- 10％ line

l           负载校准： 3％ from 10-100% 

l           输出功率读回信号同实际的比值: 2％

l           前向/反射功率监视：0-10VDC，监控0-额定功率输出

l           寄生输出：低于基波功率30dB

l           谐波输出：低于基波功率20dB

l           噪声，交流波动：+/- 1% 在所有的功率水平

Half－rack 技术指标

整机柜宽机箱的技术指标