北京研拓科技有限公司成立于2005年,是一家致力于射频技术、特种电源和真空测试等领域生产和研发的高新技术企业。 2006年由美国COMDEL公司投资成立COMDEL北京维修中心,负责中国区射频电源的维修和服务。2008年升级为COMDEL中国办事处,主要负责: ◆中国区射频电源的销售 ◆中国区射频电源的维修(保修期内免费) ◆售前售后技术咨询和服务 ◆ 客户现场技术 射频领域:先后为应用材料公司、牛津仪器、诺发科技等国际知名设备供应商提供维修和技术支持等服务。 产品种类: ◆ 单频射频电源 ◆ 双频射频电源 ◆ 直流电源 ◆ ESC静电卡盘电源 ◆ 自动调谐匹配网络 应用对象包括:刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统,也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源。 公司成功研制的600W、2000W、5000W国产射频匹配器,广泛适用于等离子体刻蚀、镀膜、清洗、等离子体增强、感应加热以及太阳能制造设备PECVD制作中,具有功率覆盖范围大(50W-5KW)、匹配时间短(≤3秒)、指示功能全、操作简单等优势,可通过数字接口实施计算机数据采集和控制,轻松实现实时入射功率、反射功率、直流偏压等的精确测量。该匹配器与电源完全独立,可配置AE、COMDEL、微电子中心等多家品牌的射频电源,最大限度节约射频系统成本。
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