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zonglen半导体器件高低温测试设备chiller
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  • zonglen半导体器件高低温测试设备chiller

zonglen半导体器件高低温测试设备chiller

产品报价:99999元

更新时间:2024/3/21 9:57:28

地:四川

牌:zonglen

号:zonglen

厂商性质: 生产型,

公司名称: 成都中冷低温科技有限公司

产品关键词: 半导体器件   chiller   高低温测试设备  

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罗木 : (18080435591) (028-83507387)

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zonglen半导体器件高低温测试设备chiller

半导体专用温控装置(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的控制,主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置,属于生产过程中的温控设备。在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术,并采用变频控制及两级闭环节能控制,显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。


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应用于半导体行业蚀刻装置,CMP(工艺机械抛光), 实验室精密装置、 高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

变频控制,智能PID控制
预测控制及自适应控制
模块化功能定制,节能
两级闭环节能控制



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温度范围:-20°C~+90°C

控温精度:±0.1℃

触摸屏操作,人机交互界面

连锁控制、可靠性高

定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

温度波动小