日本RION理音尘埃粒子计数器KC-31/24一、简介
半导体芯片制造工艺需要在千级/百级无尘室内进行，FAB无尘室中空气中颗粒数量需要管控。KC-31为自带锂电池的便携式气体颗粒计数仪，具有大流量，测试速度块的优点。日本RION理音尘埃粒子计数器KC-31/24
日本RION理音尘埃粒子计数器KC-31/24二、KC-31主要技术参数
测试原理：光散射法
测量小粒径：0.3μm（KC-24为0.1μm）
粒径范围：6 channels: ≥0.3μm, ≥0.5μm, ≥1.0μm, ≥2.0μm, ≥5.0μm, ≥10.0μm
气体流速: 28.3L / min（KC-32为50L/min）
大颗粒浓度：28,000,000 ea/m3 (coincidence loss 10%)
