日本RION理音液体颗粒计数器KS-41A/B主要应用于测量光刻胶及溶剂中颗粒数量。
一、简介理音液体颗粒计数器
日本RION公司成立于1944年，前身为小林理研株式会社。颗粒计数器对于半导体、制药和精密设备的清洁度管理是不可或缺的。RION为各种目的提供粒子计数器，例如液体粒子计数器作为电子材料开发的基本设备，用于在制造半导体、显示面板过程中保持高清洁度的液体粒子计数器。可检测光阻产品、SOG 、有机溶剂、纯水、药液等产品中小至20nm的颗粒。在国内，而且在国际上，我们的产品得到了客户的好评。
半导体制造过程中会用到各种化学品试剂和药液，如硝酸、氢氟酸、清洗液和刻蚀液等，其颗粒浓度会影响芯片的良率。
RION的液体颗粒度仪采用先进的光散射法原理，可满足20纳米（nm）-150微米（um）的粒径测量需求。
二、技术规格
KS-19F 粒径0.03-0.13um
KS-18F 粒径0.05-0.2um
KS-42AF 粒径 0.1-0.5um
KS-42BF 粒径0.2-2um
KS-42C 粒径0.5-20um
KS-42D 粒径 2um-100um（可扩展150um）
三、应用
检测制程中电子化学品，高纯化学试剂，化学药液和纯水等颗粒数量。
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? 食品和粮食
? 制药
? 化妆品
? 聚合物和粘合剂
? 石化材料和沥青
? 结构与建筑材料
日本RION理音液体颗粒计数器KS-41A/B一、简介
光刻胶中颗粒数量需要管控。光刻胶溶液中的颗粒数量直接决定了图案的加工质量和后续器件的良率。液体颗粒度仪作为电子材料开发的基本设备，用于在制造半导体、显示面板过程中保持高清洁度的液体粒子计数器。可检测光阻产品、SOG 等产品中小至0.07um 的颗粒。适应于光刻胶材料开发和来料检测。
日本RION理音液体颗粒计数器KS-41A/B二、KS-41A主要技术参数
测试方式：Off-line
测量小粒径：0.15um（KS-41B为0.1um）
粒径范围：0.15um-0.5um
出厂设定通道:0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5um
可自行扩充至10Channels
液体流速: 10mL / min
光源：镭射二极管（波长 830nm,输出功率:200mW）
可测试粒子浓度：1200 颗/mL（0.15um 的误差值在 5%以内）
