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2路质量流量计500w等离子清洗机KT-S2
2路质量流量计500w等离子清洗机KT-S2
  • 2路质量流量计500w等离子清洗机KT-S2

2路质量流量计500w等离子清洗机KT-S2

产品报价:38600元

更新时间:2023/12/2 15:06:19

地:河南

牌:郑科探

号:KT-S2DQX

厂商性质: 1,

公司名称: 郑州科探仪器设备有限公司

产品关键词: 纯度优化   射频电源   键合处理   等离子清洗   表面处理  

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孟工 : (15515779506) (0155-15779506)

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等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体,这些离子的活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性

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2路质量流量计500w等离子清洗机KT-Z5KQX


供电电源

AC220V(AC110V可选)

工作电流

整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)

射频电源功率

500W可调

射频频率

40kHz

耦合方式

电容耦合

真空度

≤30Pa

腔体容积

5L(内径 152mmX 深度 280mm)

载物规格

125mmX260mm

气体流量

0—50ml/min(其他量程可选)

气体路数

2 路质量流量计+精密流量控制阀

过程控制

自动控制

清洗时间

手动开关

开盖方式

铰链侧开式法兰

真空室温度

小于65°C

外形尺寸

450x450x250mm

冷却方式

强制风冷

标配

KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本,机械泵一台