一、光学轮廓仪产品介绍
光学轮廓仪主要应用于：从小至微米级别的微机电器件（MAMS），大到整个引擎部件，都可以获得表面形貌、粗糙度、三维轮廓、膜厚等数据。对LED行业、太阳能行业、触摸屏行业、半导体行业以及数据存储行业等，提供全方位非接触式测量方案。适用于测各种膜，块体样品，表面三维形貌；可以测凹坑深度，凹坑直径范围，膜厚度等；范围可以拼接。
是一种双LED光源的非接触式光学仪器，对样品基本上没有损害。视样品选择不同测量模式。相移干涉模式(PSI)主要用于测量光滑表面粗糙度；垂直扫描干涉模式(VSI)则可以做高度、宽度、曲率半径，粗糙度的计测等。
二、光学轮廓仪测试要求
1. 光学轮廓仪主要测块体样品，尺寸大于1*1cm2，对于非均匀样品，不一定会可以扫到满意结果。一般不测粉末，有需要请提前沟通，粉末需要比较细腻，颗粒平均直径不超过30 μm。
2. 光学轮廓仪测试样品的表面需具有一定的反光率,样品台阶的高度不能大于10mm。
3.光学轮廓仪样品需平整，表面粗糙度小于300 μm；
表面粗糙度小于300μm可以，纳米级别的建议用AFM测试。
测试范围：1mm*1mm，若无特殊要求实验室自行确定，一个样品拍摄位置数目一般拍摄2个，多出2个位置需要加收费用。
三、光学轮廓仪常见问题
1.光学轮廓仪扫描范围是多少？
三维形貌轮廓仪扫描一次范围不超过1.69mm * 1.26mm。
2.光学轮廓仪样品范围较大，怎么办？
如果需测试样品表面范围较大，需进行拼接
