KT-S2DQX-plasma离子清洗机射频电源

产品报价：38600元

更新时间：2023/6/5 16:45:09

产地：河南

品牌：郑科探

型号： KT-S2DQX

厂商性质： 1,

公司名称：郑州科探仪器设备有限公司

产品关键词：射频电源键合处理刻蚀机等离子清洗表面处理

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KT-S2DQX-plasma离子清洗机射频电源

等离子体清洗的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的"活化作用"达到去除物体表面污渍的目的。等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。等离子体清洗技术的特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。

KT-S2DQX-plasma离子清洗机射频电源

供电电源	AC220V（AC110V可选)
工作电流	整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
射频电源功率	150W
射频频率	13.56MHz
频率偏移量	＜0.2MHz
特性阻抗	50欧姆，手动匹配
耦合方式	电容耦合
真空度	≤50Pa
腔体材质	高纯石英
腔体容积	2L(内径110MMX深度220MM)
观察窗内径	Φ50
气体流量	0—50ml/min（其他量程可选）
过程控制	过程手动控制
清洗时间	手动开关
开盖方式	铰链侧开式法兰
外形尺寸	450x450x360mm
重量	23Kg
真空室温度	小于65°C
冷却方式	强制风冷
标配	KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。

郑州科探仪器设备有限公司

| 第2年

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