腔体尺寸 | 石英玻璃，直径150mm*高度130mm | |
供电规格 | AC220V,200W | |
溅射电压 | MAX 2500V | |
溅射电流 | MAX 30mA | |
靶材尺寸 | 直径57mm,厚度0.1~0.5mm | |
适用靶材 | 贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt, 普通金属Cu、W、Ag、Cr等 | |
样品台可调高度 | 20-50mm | |
样品台尺寸 | 直径55mm | |
工作真空度 | 1~20Pa | |
气体路数 | 单路 | |
补气流量 | 手动调节 | |
控制 | 触屏控制 | |
真空泵 | VRD-8 腔体尺寸石英玻璃，直径150mm*高度130mm供电规格AC220V,200W溅射电压MAX 2500V溅射电流MAX 30mA靶材尺寸直径57mm,厚度0.1~0.5mm适用靶材贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,普通金属Cu、W、Ag、Cr等样品台可调高度20-50mm样品台尺寸直径55mm工作真空度1~20Pa气体路数单路补气流量手动调节控制触屏控制真空泵VRD-8 |
产品说明：
本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合中小型扫描电子显微镜制样的仪器。放入样品后可一键搞定；数字式计数器满足精确确时要求。特别适用对膜颗粒大小要求高的场发射扫描电子显微镜。具有成膜均匀，操作简单，所需时间短，过程可控等优点。可以使用Au，Pt，Cr、Al、Cu等靶材，配有高位定性的飞跃真空泵。
特点：
1.同时可以通过更换不同的靶材（金、铂、银等），以达到更细颗粒的涂层。
2.一键式操作，使用方便。
3.真空保护可避免真空过低造成设备短路。
需要镀膜的样品
1.电子束敏感的样品:
主要包括生物样品，塑料样品等。S EM中的电子束具有较高能量，在与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料，那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用，防止此类损伤；
2.非导电的样品:
由于样品不导电，其表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应，可在样品表面镀一层金属导电层，镀层作为一个导电通道，将充电电子从材 料表面转移走，消除荷电效应。在扫描电镜成像时，溅射材料增加信 噪比，从而获得好的成像质量。
3.新材料:非导电材料和半导体材料
·创新的低压直流冷态溅射镀膜，避免样品微纳结构热损伤。
·溅射电流可预设也可在镀膜过程中实时调节。
·操作容易快捷，自动或手动操作，靶材快速更换。
