W1光学表面轮廓形貌分析仪器的重建算法自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,分辨率可达0.1nm。其载物台尺寸为320*200mm(可定制),行程为140*110mm(可定制);测量的Z向范围可达10mm(2.5X镜头),Z向的精度可高达0.1nm。
【测量小尺寸样品时】可以测到12mm,也可以测到更小的尺寸,XY载物台标准行程为140*110mm,局部位移精度可达亚微米级别,镜头的横向分辨率数值可达0.4um,Z向扫描电机可扫描10mm范围,纵向分辨率可达0.1nm级别,因此可测非常微小尺寸的器件;
【测量大尺寸样品时】W1光学表面轮廓形貌分析仪器支持拼接功能,将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像,拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致,可达0.1um;
1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
W1光学表面轮廓形貌分析仪器可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,采用了CCD取代了显微镜中的目镜,可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌,也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌,样品表面形貌展示得更加清晰,图像更大,观察更加方便。