电子束蒸发镀膜机 NEE-4000（A）全自动电子束蒸发系统那诺-马斯特

产品报价：询价

更新时间：2024/4/11 10:37:58

产地：美国

品牌：那诺-马斯特

型号：NEE-4000（A）

厂商性质：生产型,

公司名称：那诺-马斯特中国有限公司

产品关键词：电子束蒸发台电子束蒸发蒸发镀膜设备那诺-马斯特电子束蒸发镀膜机

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NEE-4000（A）全自动电子束蒸发系统概述：NANO-MASTER NEE-4000电子束蒸发系统为双腔体的配置，其中样品台位于主腔体内，二级腔体则用于安置电子束源。这种在两个腔体之间带有门阀的配置可以作为预真空锁，使得电子束源腔体保持真空的情况下，实现基片通过主腔体放入基片到样平台(或夹具)上或从中取出。在需要自动装/卸载基片时，他可以通过第三方的预真空锁来实现，这可以设置于立方体的左侧。通过PC计算机控制，系统可以提供多电子束源的共蒸发能力，以及对组分或组分梯度进行编程的能力。

NEE-4000（A）全自动电子束蒸发系统特点：

顺序蒸发或共蒸发
双电子束源
多凹槽电子枪
可编程电子束扫描
10KW开关电源
涡轮分子泵，极限真空5x10-7Torr
自动上下载片
材料和衬垫更换非常方便
晶振式膜厚监测仪
通过LabView软件实现PC计算机控制
菜单驱动，四级访问密码保护
完全的安全联锁

产品型号：

NEE-3500：计算机全自动控制的紧凑型独立系统
NEE-4000：计算机全自动控制的独立系统

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