非接触三次元测量仪NH-3LP

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更新时间：2023/1/7 17:49:43

产地：日本

品牌：MITAKA

型号：NH-3LP

厂商性质：生产型,贸易型,服务型,

公司名称：北京欧屹科技有限公司

产品关键词：三鹰光器三次元测量仪非接触三次元测量仪激光非接触式测量仪器三维测量设备

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鲁涛 : (13910937780) (01069798892)

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NH系列是由高测量度的激光自动对焦显微镜，以及高精密度的XYZ载台所构成。如图所示，被射入显微镜镜头的激光穿过物镜后聚焦于光轴中心之处，接着反射于工件表面再穿过物镜后成像于AF传感器之上。由于失焦时，激光光点会于传感器上产生位置变化，使得传感器能捕捉到此位置变化，并利用AF驱动机制将物镜定位于聚焦处。进行形状测量时，会利用自动XY载台扫描工件，取得所聚焦各点之XYZ值。以这样的方式进行作业，工件表面的颜色或反射率等不仅不会受到影响，并且可达到大范围的高精度测量。

主要精度：

XY分解能：0.01μm

Z分解能：0.001μm

XY測定範囲：150mm

Z測定範囲：10mm

应用实例：

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| 第12年

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