Verifire MST 激光干涉仪---多表面测量

Verifire MST 激光干涉仪提供了一个前所未有的崭新的测量方式和能力，传统的激光干涉仪应用是测量两个面的波前变化，也就是说测量一个 由两个面所形成的腔。

但是，如果所测量的是一个没有经过镀膜的平行平板，则就会产生两个叠加的干涉条纹（三个面的腔所形成），这样就会干扰标准的位相干涉测量分析。

现在，ZYGO的Verifire MST 激光干涉仪解决了这一个问题，通过波长调制技术和ZYGO新的傅立叶变换方法，可以进行三个甚至四个平行面的测量，不仅可以显示所有的面，并且可以排除其他的面而单独显示你所需要的面。

三平面干涉测量 

激光干涉仪可以在你的测量中，只要一次数据采集，就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度，同时还能得到平行平板的光学厚度：

? 前表面形貌图

? 光学厚度变化

? 物理厚度变化和后表面形变

四表面干涉测量

这一技术能够通过两次数据采集得到下列结果：

? 前表面和后表面的形貌图

? 物理厚度变化

? 光学厚度变化

? 折射率变化

- 非线性材料均匀性

- 线性材料均匀性

多表面样品测量快速、简单和质量提升

同时测量表面形变和光学厚度变化

平行平板两侧测量就可以得到其均匀性：

? 不需要涂油就可以进行安全、快速测量

? 两次测量不需要进行调整

新型的线性材料均匀性测量

快速测量，只需要几分钟而不是几个小时

型号：BZY1-Verifire  MST

货号：21011301

Interferometer System for Multiple Surface Testing

Verifire MST laser interferometer enables precise optical metrology of multiple surfaces simultaneously, including plane parallel components with multiple reflections.

The Verifire  MST starts with the classical interferometer applications. 

   These applications all measure the wavefront variations between two surfaces, a two-surface cavity. 

   However, measuring an uncoated parallel plate gives two layered interferograms (a three-surface cavity) that confuse standard Phase Shift Interferometry algorithms.

ZYGO has solved this problem using wavelength shifting of phase, and ZYGO's patented Fourier Transform Phase Shifting Interferometry (FTPSI). 

   The Verifire  MST can measure two-surface, three- and even four-surface cavities. 

   Show all of the surfaces, or only the surfaces of interest, all within ZYGO's  Mx  software. Artifacts are naturally suppressed using FTPSI, eliminating the need for an extended source.