NILT纳米压印模板、掩膜、标准模板

NILT纳米压印模板、掩膜、标准模板

标准压印掩膜（Standard Stamp）

NIL抗反射掩膜 (ANTI-REFLECTION)

抗反射膜模板的特点是以大面积为主；适用于可见光范围和近红外范围，反射率可减低到 0.2% 

规格Type BType AType CType NIR

模板型号ARSS_B_06ARSS_A_02ARSS_C_02ARSS_NIR_02

材质NickelNickelNickelNickel

光栅类型Hexagonal ArrayHexagonal ArrayHexagonal ArrayHexagonal Array

Pitch300 nm250 nm250 nm500 nm

Average height300 nm350 nm350 nmLarger than 700 nm

模板厚度300 μm300 μm300 μm300 ?m

模板尺寸70 mm x 70 mm120 mm x 120 mm250 mm x 250 mm100 mm x 100 mm

有效面积50 mm x 50 mm100 mm x 100mm 200 mm x 200 mm80 mm x 80 mm

Expected %R PMMALess than 0.6%Less than 0.2%Less than 0.2%Less than 0.2%

Less than 0.3%

Pattern polarityProtrusionsProtrusionProtrusionsHoles

NIL衍射光栅模板 (DIFFRACTION GRATINGS)

衍射光栅采用镍材质模板，表面纹路分为线状或交叉状两种，平均深度为250nm，线距为500nm。适合用于：LED & OLED 光的外耦合OUT-COUPLING，将不同光导入波导WAVEGUIDE，光学分束，镭射感应器，薄膜行业和太阳能光伏等。NILT纳米压印模板、掩膜、标准模板

特点：

纹路形状呈正弦曲线SINUSOIDAL ，纹路的参数也不同

80 x 80mm有效面积（模板面积为100 x 100mm） 

规格：

规格Linear GratingCrossed grating

模板型号DG_L500DG_C500

材质NickelNickel

Profile shapeSinusoidalSinusoidal

Pitch500 nm500 nm

Average depth250 nm250 nm

模板厚度300 μm300 μm

模板尺寸100 mm x 100 mm100 mm x 100 mm

有效面积80 mm x 80 mm80 mm x 80 mm

NIL含金线栅偏光镜模板(WIRE GRID POLARIZER)

一般含金线栅偏光镜制造出来后需要经过一定测试，而NILT通过纳米压印生产出含金线栅偏光镜的标准模板，可避免频繁的测试，免去因测试所造成的成本。标准模板的线呈槽状，槽宽、槽距均为50nm，模板的有效面积可达12 x 12mm, L/S 50nm，模板复制子模适用于UV或热压过程。NILT纳米压印模板、掩膜、标准模板

规格：

规格Type AType B

模板型号WGPSS_A_V1WGPSS_B_V1

模板尺寸2 inch round wafer with flat2 inch round wafer with flat

材质SiliconSilicon

有效面积12 mm x 12 mm6 mm x 6 mm

模板厚度500 μm +/- 25 μm500 μm +/- 25 μm

结构类型50 nm wide grooves with 50 nm spacing50 nm wide grooves with 50 nm spacing

横向公差+/- 10 nm+/- 10 nm

结构深度100 nm100 nm

垂直公差+/- 15 nm+/- 15 nm

缺陷密度Less than 0.01% of patterned areaLess than 0.01% of patterned area

NIL微针体标准模板 (MICRO-NEEDLE STANDARD STAMP)

NILT提供的微针体标准模板的特点是特点：1. 微针呈正方形排列相隔500um； 2. 有效面积达70mm(斜角计)

微针体模板可经热压或铸造出所需微针形状，可利用模板采用镍片注塑而成。标准模板造出的微针体有足够硬度可用于皮肤的不同测试，医学方面可应用的涂药式微针或注射式微针。

规格：

规格Micro-needle - Type A

模板型号MNSS_A_V1

材质Silicon

微针布局Square array

微针基本尺寸100 μm x 100 μm

微针高度200 μm (base to tip)

微针尖端高度70 μm

微针尖端曲率半径~1 μm

微针间距500 μm

模板尺寸100 mm diameter (SEMI standard wafer with a flat)

模板厚度525 μm (SEMI standard wafer with a flat)

有效面积70 mm diagonal square area in the center

NIL精工增光掩膜 (LINEAR AND CIRCULAR ENGINEERED DIFFUSERS)

NILT的精工增光掩膜可精准控制增光度，形状可选择直线、椭圆形和圆形，定制性强，面积可达 120x 120mm。它的功能在于控制照明元素LIGHTING ELEMENTS和光源LIGHT SOURCES的光量。例如镭射、LED、LCD的背光源，而同时拥有很高的透光率。 

规格　　

Circular versionType BType D

模板型号EDSS_B_C_V1EDSS_D_C_V1

结构类型Engineered DiffuserEngineered Diffuser

输出类型Circular diffusionCiruclar diffusion

Diffusion angles (FWHM)*25°25°

材质NickelNickel

模板厚度300 μm300 μm

模板尺寸70 mm x 70 mm120 mm x 120 mm

有效面积50 mm x 50 mm100 mm - 100 mm

NIL大面积柱形标准模板 (LARGE AREA PILLARS)

大面积柱形标准模板采用光子晶体结构，是以方形排列光子晶体并分布在4个1平方米的格子的硅晶圆上。 

可选4种不同规格的大面积柱形模板，结构尺寸在125 – 275nm之间， 

规格:

规格　

模板型号LAPSS_V1

模板尺寸2 inch round wafer

材质Silicon

厚度525 μm +/- 25 μm

结构尺寸125 nm, 175 nm, 225 nm, 275 nm (rounded squares)

Structure pitch200 nm, 300 nm, 400 nm, 500 nm

Protrusion height100 nm - 300 nm (you decide!)

Tolerance, lateral and vertical dimensions+/- 15%

缺陷密度Less than 0.1% of total patterned area

NIL亚微米标准模板 (SUB-MICRO)

亚微米标准模板的图形有3种，包括线(500nm)、柱(1um)、孔(2um)，是专门为测试亚微米至纳米级压印而设计的，材料可选择硅或石英，标准尺寸为 20 x 20mm。

规格：

模板型号MSS_V1

模板尺寸20 mm x 20 mm

材质Silicon

厚度1 mm

结构尺寸1 μm - 50 μm

Etch depth2 μm, 5 μm or 10 μm

Pattern field size4 mm x 4 mm

交期3-4 weeks

NIL微图形标准模板 (MICRO)

微图形标准模板有4种图形,包括直线、横线、柱状和孔状，其尺寸为1um, 5um, 10um, 50um呈现在20mm x 20mm硅晶圆片上。

规格：

模板型号SMSS_SIQZ_V1

模板尺寸20 mm x 20 mm

材质Silicon or Fused Silica

厚度1 mm

结构尺寸500 nm - 2 μm

Etch depth1 μm or 2 μm in Silicon. 500 nm in Fused Silica

Pattern field size5 mm x 5 mm

交期3-4 weeks

微透镜阵列模板

NILT提供带凹面或凸面微透镜阵列的纳米压印模板，用于通过热压印或注塑成型生产聚合物微透镜阵列。 材质一般采用熔融石英或镍制成。 NILT可以独立的控制镜头深度、高度和宽度，因此可以在压印模板上制作任何抛物面镜片形状。

压印模板的直径可达150mm，镜头尺寸从300nm-400μm，还可以提供具有凸透镜和凹透镜阵列的聚合物材质复制品。

微透镜阵列压印模板

压印模板尺寸可达150 mm

压印模板材质熔融石英或镍

微透镜尺寸300 nm - 400 μm

SAG可达 50 μm

Lens arrangementsHexagonal closed packed

Square and hexagonal, not closed packed

Lenticular