数字式四探针测试仪HH-SZT-2000

数字式四探针测试仪HH-SZT-2000

【简单介绍】

数字式四探针测试仪可以测量棒状、块状半导体材料的电阻率和半导体扩散层的薄层电阻进行测量，可以从10-6--105Ω—cm全量程范围检测硅的片状、棒状材料的电阻、薄层电阻，是硅材料质量监测的必需仪器。

数字式四探针测试仪HH-SZT-2000

【详细说明】

主要技术指标：

1．   范围：电阻率10^-4—10³Ω—cm，可扩展至10⁵Ω—cm，分辩率为10^-6Ω—cm

          方块电阻10^-3—10³Ω /□

          电阻10^-6—10⁵Ω

2．   可测半导体尺寸：直径Φ15—150mm

3．   测量方式：轴向、断面均可（手动测试架）

4．   数字电压表（1）量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V

  （2）测量误差 0.2mV档±（0.3%读数+8字）

              2  mV档以上±（0.3%读数+2字）

  （3）输入阻抗0.2mV、2mV挡10⁵Ω

               20mV档以上>10⁸Ω

  （4）显示3 1/2位数字显示，0—1999

具有极性和过载自动显示，小数点、单位自动显示

5．   恒流源：（1）电流输出：直流电流0—100mA连续可调，由交流电源供给

   （2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五档

   （3）电流误差：±（0.3%读数+2字）

6．四探针测试探头  （1）探头间距：1mm   （2）探针机械游率：±0.3%

                   （3） 探针：Φ0.5mm    （4）压力：可调

  7. 测试架：

  （1）手动测试架：探头上升及下降由手动操作，可以用作轴向和断面的单晶棒和硅片测试。

  （2）电动测试架：探头的上升和下降由电动操作，设有自动控制器控制，探头上升时间1S—99S可调，探头下降时间1S—99S可调，压力恒定可调（由砝码来设定）同时设有脚踏控制装置由脚踏开关控制探头上下运动。

   8.电流：220V±10% 50HZ或60HZ：功率消耗<35W

9．    外形尺寸：电气箱130×110×400mm

数字式四探针测试仪HH-SZT-2000