波长范围：<1nm-310nm;焦距长度：1m；最高分辨率：0.006nm；
248/310G--掠入射软X射线谱仪
主要特点：
>波长覆盖范围：<1nm-310nm
>最高分辨率可达0.006nm
>+/-4um高精度罗兰圆结构
>支持单点扫描或阵列探测器（可更换）
>带有隔离阀的高精度狭缝
>多种掠入射光栅可选，入射角度可调
主要技术参数 | |
波长范围 | <1nm-310nm 取决于光栅 |
光学结构 | 掠入射，入射出射角度88-84度 |
真空度支持 | 10-6Torr,或10－9Torr |
焦距长度 | 1 m |
分辨率，半高宽 | 0.018nm* |
色散 | 0.05-0.27nm每毫米* |
焦平面尺寸 | 40mm |
数值孔径 | f/44 |
光栅尺寸 | 25*20mm |
可选探测器 | CCD、MCP或单点探测器 |
狭缝 | 10um-2mm连续可调，高度2-20mm可调，手动或电动可选 |
*以上参数均为1200g/mm光栅参数
不同光栅主要参数 | ||||||||
光栅密度（g/mm） | 2400 | 2160 | 1800 | 1200 | 600 | 300 | 133.6 | 75 |
分辨率** | 0.009 | 0.01 | 0.012 | 0.018 | 0.036 | 0.072 | 0.16 | 0.24 |
色散（nm/mm） | 0.03-0.15 | 0.03-0.16 | 0.04-0.18 | 0.05-0.27 | 0.08-0.34 | 0.16-0.7 | 0.4-1.6 | 13.3 |
波长范围1nm至 | 17nm | 19nm | 23nm | 35nm | 70nm | 140um | 310nm | 4.8um |
