半导体 电子特气系统

半导体制造业所使用的特种气体一般按其使用时的特性，可分为五大类D% K* m$ i
（1）易燃性气体& |/ ~4 j* M; g" }* |
把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃易燃气体都有一定的着火燃烧爆炸范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起爆炸燃烧危险性就越高，如B 2H6的爆炸上限为98%，爆炸下限为0.9%。属于易燃气体有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 等等。4 q, m6 G/ }% c( f
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（2）毒性气体：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等气体的毒性最大，它们的阈限值TLV分别只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都属于毒性气体。
（3）腐蚀性气体：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。4 a& J& {0 W0 I

（4）惰性气体： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成工伤事故。属于这类的气体有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
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（5）氧化性气体：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ,Cl2,NF3等。( ^4 F$ ?* x4 r: U9 R

深圳市盖斯帕克气体应用技术有限公司是一家专业从事于气体领域服务于一体的高新技术企业，为客户提供高纯度特气供应系统、各种实验室/研究所供气系统、气体管道工程、尾气处理整体设计、安装调试一体式的工程服务。从选型咨询、产品供应、投运维护、技术支持、用户培训、客户服务等，提供了整套优质成熟的气体解决方案。深受广大客户的肯定及认同。
经工商局审批注册成立。通过了深圳市质量技术监督局、安全技术监督管理局、交通局、消防局、防雷局等上级主管部门的审查和批准。公司还是广东省工业气体行业协会会员单位，深圳市质量协会理事单位和深圳市特种设备行业协会会员单位

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2：实验室气体管道工程，从咨询、设计、选型、产品供应、投运维护、技术支持、用户培训、客户服务提供整套的系统安装
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