供应 特气 气体分配箱VMB
产品报价:询价
更新时间:2014/2/15 14:52:37
产地:其他国家
品牌:GP
型号:GP
厂商性质: 生产型,服务型,
公司名称: 深圳市盖斯帕克气体应用技术有限公司
盖斯帕克 : (15692452350) (0755-86165090)
(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)产品报价:询价
更新时间:2014/2/15 14:52:37
产地:其他国家
品牌:GP
型号:GP
厂商性质: 生产型,服务型,
公司名称: 深圳市盖斯帕克气体应用技术有限公司
盖斯帕克 : (15692452350) (0755-86165090)
(联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!)
VMB
气体分配箱:适用于制程气体的分配和压力调节。
基本功能:
调压阀,进出口压力显示,二级过滤器,高压隔离阀和低压隔离阀,吹扫隔离阀
选择配置:
测试口,扩展口,出口排放阀,真空发生器,进口PT,出口PT ,进口气动阀,出口气动阀
特殊气体主要包括
(1)易燃性气体
把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧,当环境温度达到一定时,PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃易燃气体都有一定的着火燃烧爆炸范围,即上限、下限值。此范围越大的气体起爆炸燃烧危险性就越高,如B 2H6的爆炸上限为98%,爆炸下限为0.9%。属于易燃气体有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。
(2)毒性气体(Toxic Gas):半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等气体的毒性最大,它们的阈限值TLV(Threshold Limited Valve)分别只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微,因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都属于毒性气体。
(3)腐蚀性气体(Corrosive Gas):这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属,但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。
(4)惰性气体(Inert Gas): 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害,在气体传输过程中,相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性,在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成工伤事故。属于这类的气体有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
(5)氧化性气体(Oxide Gas):这类气体有较强的氧化性,一般同时具有其他特性,如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ,Cl2,NF3等。