微波等离子发生设备微波等离子发生装置

产品报价：1元

更新时间：2013/11/29 10:29:48

产地：北京

品牌：zk

型号：HG22-MDZ-1500

厂商性质：生产型,

公司名称：北京亿百万电子有限公司

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产品名称：微波等离子发生设备微波等离子发生装置
产品型号: HG22-MDZ-1500
产品编号: 29623
微波等离子发生设备微波等离子发生装置 的详细介绍

本设备由微波系统、真空系统、水冷系统等几部分组成
电源：AC220V，50Hz
微波功率：0-1500W连续线性可调（或0-800W连续线性可调）
微波频率：2450MHz±50MHz
石英管反应室：φ50mm
放置样品的基片台可以方便地在放电腔内上下升降调节
放电腔两端有双层水冷套作降温保护

该设备利用频率为2450MHz的微波激励稀薄气体放电，从而产生等离子体。可用于等离子体气相沉积、等离子体气相刻蚀等实验，用于制备金刚石膜或其它多种功能薄膜，可催化引发常规化学很难实现的反应

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