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Diener electronic Plasma 等离子清洗机 PICO
Diener electronic Plasma 等离子清洗机 PICO
联 系 人:李志鹏
电 话:021-61552797
传 真:021-33250320
等 级: (第 12年)
性 质:生产型,贸易型,服务型,
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Diener electronic Plasma 等离子清洗机 PICO
核心参数
Pico 等离子设备能够以不同的形式进行整合,例如以模块系统的形式。在下文中您可以大致了解能够与 Pico 等离子系统一同使用的最常见的选装件。Pico 等离子系统主要应用于以下领域:
小批量生产
分析 (REM, TEM)
医疗技术
灭菌
研究和开发部门
考古
纺织技术
塑料技术
产品参数
规格,参数:
系列 | Pico系列 |
控制系统 | 半自动型 PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
体积 | 4~15L |
真空腔室 | 圆形不锈钢件,配有盖子 (大约Φ 150 mm, 长 320 mm 或者长 600 mm)或者 矩形不锈钢件,配有铰链的门 (约宽 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm) 配有盖子的圆形铝材,或者配有铰链的门 (大约Φ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm) 配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP),或者配有铰链的门 (大约Φ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm) 配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP),或者配有铰链的门 (大约Φ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm) |
电极 | 单层或多层 RIE |
样品支架 | (选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
气源 | 针型阀 质量流量控制器 (MFCs) |
压力计 | Pirani Baratron(适用于腐蚀性气体版本) |
计时器 | 数字型 |
高频电流发生器 | 40 kHz: 功率 0 - 200 W;0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W;0 - 100 W;0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 300 W 所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型 |
真空泵 | KASHIYAMA |
电源 | 台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位 |
产品介绍
低压等离子技术,气体在真空中通过获取能量从而被激发。等离子由高能离子、高能电子以及其它反应粒子组成。由上,材料表面可以被有效的改变。等离子效应可分为以下三类:
一微砂喷射:材料表面通过离子轰击被消减
二化学反应:材料表面与离子化的气体发生化学反应
三紫外线放射:紫外射线将长链碳化合物分解