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现在位置：首页>净化>清洗设备>清洗机> 离子束清洗 NIE-3000离子束清洗系统 那诺-马斯特
价 格：询价
产 地：美国更新时间：2024/1/31 11:07:26
品 牌：那诺-马斯特型 号：NIE-3000
状 态：正常点击量：283
联 系 人：张经理
电 话：021-62318025
传 真：
等 级： (第 3年)
性 质：生产型,
联系我时请说在来宝网上看到的,谢谢！
NIE-3000离子束清洗系统产品概述：该系统为手动放片取片，但通过计算机全自动实现工艺控制的台式离子束刻蚀系统，系统具有结构紧凑、功能强大、自动化程度高、模块化设计易于维护、低成本的优s。
NIE-3000离子束清洗系统产品特点：
低成本
离子束：高达2KV/10mA
离子电流密度100-360uA/cm2
离子束直径：4",5",6"
兼容反应及非反应气体(Ar, O2, CF4,Cl2)
极限真空5x10-7Torr
260l/s涡轮分子泵，串接500 l/min干泵
14"不锈钢或铝质腔体
水冷旋转/倾斜样品台(NIE-3500)
自动上下载片（NIE-3500）
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
占地面积30"x30"
产品应用：
表面处理
离子铣
表面清洗
带活性气体的离子束刻蚀： 光栅刻蚀，以及SiO2，Si和金属的深槽刻蚀
