FMA-LP2618A-I_FMA-LP2619A-I_FMA-LP2620A-I_FMA-LP2605A-I质量流量控制器OMEGA

130+气体校准，包括纯气体和混合气体

同时显示压力、温度和质量流量

按键界面操作简单

NIST可追溯性标准

0.5 SCCM~500 SLM满量程范围

典型响应时间为50~100 ms

调节比为200：1

位置不敏感

±0.8%读数精度

RS232标准

自定义实时气体混合编程

最多可存储20种用户定义的气体混合物

FMA-LP2618A-I_FMA-LP2619A-I_FMA-LP2620A-I_FMA-LP2605A-I质量流量控制器OMEGA

精度：±(0.8%读数 + 0.2% FS)

重复性：±0.2% FS

调节比：200:1

控制响应时间：100 ms

输入控制信号：0~5 Vdc, RS232

输出信号：0~5 Vdc, RS232

可选输入/输出：4~20 mA, 0~10 Vdc

工作温度：-10~50°C（14~122°F）

零点漂移：0.02%/ATM FS/°C

量程漂移：0.02%/ATM FS/°C

湿度范围：0~100% RH, 无冷凝

附加流速：2.4% FS

接湿材料：标配：303和302 SS，FKM，硅树脂TRV（橡胶），玻璃增强尼龙，铝，黄铜，410 SS，硅树脂，玻璃；>250 SLM：416 SS和镍替代黄铜

-LSS（选项）：316LSS，303SS，430FRSS，全氟弹性体标准，FKM，EPDM，丁纳橡胶，氯丁橡胶 最大压力：50 psig

在体积模式下使用：近大气压，建议最大值为15 psig。体积流量计和控制器未针对质量流速高于流量计额定流量范围的情况进行精度认证。它们仅适用于接近大气压的条件。 最大工作压力建议为15 psig

电源电流：20 SLM及以下为0.250 A；50 SLM及以上（典型值）为0.75 A

电源电压：2 SLM及以下设备为15-30 Vdc；5 SLM及以上设备为24-30 Vdc

电气连接：8针圆形Mini-DIN"

FMA-LP2618A-I_FMA-LP2619A-I_FMA-LP2620A-I_FMA-LP2605A-I质量流量控制器OMEGA

最多可存储20种用户定义的气体混合物

FMA-LP2600A系列质量流量控制器 在层流场中使用 差压原理来检测并控制质量流量。 流量计中的层流元件(LFE)迫使 气体进入层流状态（经过整流处理）。按照泊肃叶方程， 在这一区域体积流量 与压降呈线性 关系。使用差压传感器 测量LFE固定距离的 压降情况。同时结合气体的粘度 准确判定体积流量。 引入单独的绝对温度和压力传感器， 并根据一系列标准条件 修正气体流量。这种标准化 流量通常称为质量流量， 使用标准立方厘米/分钟(SCCM) 或标准升/分钟(SLM)等 单位表示。

控制器使用真正的比例阀联接到 流体，以便使用积分式 PID回路控制器来控制流量。标准设备包括 0 ~ 5V输出（可选4 ~ 20 mA）和RS232 通信。可从前端键盘或 通过RS232通信调整气体 选择功能和设定值。体积流量、质量 流量、绝对压力以及温度均可 通过RS232连接查看或记录。 在距离为46m（150’）的同一串口连接上，同时最多可与26台设备进行多点通信。

OMEGA FMA系列质量流量计