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现在位置：首页>行业专用>真空产品>镀膜机> 磁控溅射真空镀膜机 NSC-4000（M）磁控溅射系统 那诺-马斯特
价 格：询价
产 地：美国更新时间：2024/2/23 11:04:34
品 牌：那诺-马斯特型 号：NSC-4000（M）
状 态：正常点击量：277
联 系 人：张经理
电 话：021-62318025
传 真：
等 级： (第 3年)
性 质：生产型,
联系我时请说在来宝网上看到的,谢谢！
NSC-4000（M）磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，可达8"旋转平台，可支持4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-4000带有13”铝质腔体，4个2”的磁控管，DC直流和RF射频电源。 在选配方面，我们提供不锈钢腔体，500 l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。
NSC-4000（M）磁控溅射系统产品特点：
不锈钢，铝质腔体
260或500 l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
带观察视窗的腔门易于上下载片
基于LabView软件的PC计算机控制
带密码保护功能的多级访问控制
完全的安全联锁功能
NSC-4000（M）选配项：
不锈钢腔体
热蒸镀能力
RF、DC溅射
RF或DC偏压（1000V）
样品台可加热到700°C
膜厚监测仪
基片的RF射频等离子清洗
预真空锁以及自动晶圆片上/下载片
NSC-4000（M）应用：
晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
光学以及ITO涂覆
带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
带RF射频等离子放电的反应溅射
