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原子层沉积系统PICOSUN™ P-200 Pro
原子层沉积系统PICOSUN™ P-200 Pro
价 格：询价
产 地：芬兰更新时间：2021/12/21 13:49:47
品 牌：Picosun型 号：PICOSUN™ P-200 Pro
状 态：正常点击量：547
联 系 人：销售部
电 话：010-64415767
传 真：010-64425485
等 级： (第 13年)
性 质：贸易型,服务型,
联系我时请说在来宝网上看到的,谢谢！
PICOSUN? P系列量产ALD系统定义了高产量ALD的新时代。我们全自动化、真空集群与产线兼容的P系列ALD确保了最大的产出效率，并且具有世界级的工艺纯度和薄膜均匀性，甚至能完全满足具有最严格要求的半导体行业标准。PICOSUN? P系列ALD高效紧凑的设计节约了昂贵的场地成本，系统的易维护性减少了停工期。对于系统的维护、工艺故障的排除，我们为客户提供专业的售后服务Picosupport?。根据用户的需求，确保每时每（24/7/365）快速提供全面的解决方案。在购买之前，我们提供做样服务，确保系统具有最好的性能，完全满足您的需求。
产品参数
| 衬底尺寸和类型 | 50 – 200 mm /单片
156 mm x 156 mm 太阳能硅片
150 mm x 150 mm 显示面板
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| 工艺温度 | 50 - 500 °C , 可选更高温度
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| 基片传送选件 | 气动升降（手动装载）
半自动装载，用PICOPLATFORM?200集群系统实现
25片晶圆盒对盒式全自动装载（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM?200集群系统实现
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| 标准 | SEMI S2 认证（认证中）
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| 前驱体 | 液态, 固态, 气态, 臭氧源, 等离子体（最多4路气体）：
前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务
6根独立源管线，最多加载12个前驱体源（加上Plasma管路，共7根独立源管线）
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| 重量 | 790 kg
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尺寸 (W x H x D)
| 160 cm x 80 cm x 240 cm
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| 可选件 | 集群工具, PICOFLOW? 扩散增强器, 集成椭偏仪, QCM, RGA, N2发生器，尾气处理器，定制设计，与 工厂软件连接服务。
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| 验收标准 | 标准设备验收标准为 Al2O3 工艺，
其他工艺可具体协商：其他工艺、应用具体验收标准如：
--不均匀性
--颗粒物含量
--重金属污染
--电学性能 |
产品介绍
PICOSUN? 200mm 生产线上的产品是200mm以下晶圆的自动化、高产量的工业ALD加工设备。包括PICOSUN? P系列Pro ALD设备。该工具可以独立工作，也可以集成到PICOPLATFORM?200真空集群系统以达到更高的产量和自动化水平。为了节约昂贵的设施空间，所有PICOSUN?的ALD系统有着紧凑，高效的设计。集成的专业机柜，装载着前驱体和电子元件，保证了快速简便的维护和最短的停机时间。PICOSUN? P系列Pro工具保证了最大产能以及最节约成本的情况下得到优秀的ALD工艺质量，并履行严格的现代半导体产业的生产力和安全要求。
