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商品编号:58262
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Q150GB全自动高真空溅射镀膜仪(用于手套箱)

价    格:询价

产    地:英国更新时间:2022/4/2 12:00:23

品    牌:Quorum型    号:Q150GB

状    态:正常点击量:2394

025-85432178
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南京覃思科技有限公司

联 系 人:苏海

电     话:025-85432178

传     真:025-85432278

等     级: (第 17年)

性     质:生产型,

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主要特点:
• 可安装在手套箱内的模块化系统
• 整体手套箱压力监测
• 金属溅射、碳蒸发 – 或二者兼有
• 触摸屏控制模块置于手套箱外部操作
• 镀膜颗粒精细
• 高真空涡轮分子泵抽真空
• 可选通过膜厚监控仪实现厚度控制


产品参数

技术参数:
技术规格
仪器尺寸:267mm W x 490mm D x 494mm H 总重量:40公斤
工作腔室:硼硅酸盐玻璃152mm Dia (内部) x 214mm H
安全钟罩:整体PET
样品台:直径为50mm的旋转样品台。转速8-20 rpm
真空范围: 10-5 mbar量级
溅射可选靶材:Au金、Au/Pd金钯合金、Pt铂、Pt/Pd铂钯合金、Ag银、Al铝、C碳、Cr铬、Co钴、Cu铜、Fe铁、Ir铱、Mg镁、Mo钼、Ni镍、Pd钯、Sn锡、Ta钽、Ti钛、W钨、ITO氧化铟

蒸发源:可选用碳棒进行热蒸发镀碳,也可使用钨丝篮或钨舟/钼舟进行热蒸发镀各种金属膜。

 

产品介绍

仪器简介:
英国Q150GB涡轮泵高真空、模块化镀膜系统,自动程序控制,傻瓜相机式的简单操作。其镀膜单元可置于各种手套箱内,外置触摸屏用户界面、电源单元和前级机械泵。可监测手套箱压力。该系统不同的配置可以实现离子溅射镀膜、碳蒸发/金属蒸发镀膜或溅射蒸发二者兼有之功能,可用于SEM、TEM及薄膜样品镀膜,也常用于锂电池科研等需要在手套箱内镀膜的样品。

 



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