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Q150GB全自动高真空溅射镀膜仪（用于手套箱）
Q150GB全自动高真空溅射镀膜仪（用于手套箱）
价 格：询价
产 地：英国更新时间：2022/4/2 12:00:23
品 牌：Quorum型 号：Q150GB
状 态：正常点击量：2394
联 系 人：苏海
电 话：025-85432178
传 真：025-85432278
等 级： (第 17年)
性 质：生产型,
联系我时请说在来宝网上看到的,谢谢！
主要特点：
• 可安装在手套箱内的模块化系统
• 整体手套箱压力监测
• 金属溅射、碳蒸发 – 或二者兼有
• 触摸屏控制模块置于手套箱外部操作
• 镀膜颗粒精细
• 高真空涡轮分子泵抽真空
• 可选通过膜厚监控仪实现厚度控制
产品参数
技术参数：
技术规格
仪器尺寸:267mm W x 490mm D x 494mm H 总重量:40公斤
工作腔室:硼硅酸盐玻璃152mm Dia (内部) x 214mm H
安全钟罩:整体PET
样品台：直径为50mm的旋转样品台。转速8-20 rpm
真空范围: 10-5 mbar量级
溅射可选靶材：Au金、Au/Pd金钯合金、Pt铂、Pt/Pd铂钯合金、Ag银、Al铝、C碳、Cr铬、Co钴、Cu铜、Fe铁、Ir铱、Mg镁、Mo钼、Ni镍、Pd钯、Sn锡、Ta钽、Ti钛、W钨、ITO氧化铟锡等
蒸发源：可选用碳棒进行热蒸发镀碳，也可使用钨丝篮或钨舟/钼舟进行热蒸发镀各种金属膜。
产品介绍
仪器简介：
英国Q150GB涡轮泵高真空、模块化镀膜系统，自动程序控制，傻瓜相机式的简单操作。其镀膜单元可置于各种手套箱内，外置触摸屏用户界面、电源单元和前级机械泵。可监测手套箱压力。该系统不同的配置可以实现离子溅射镀膜、碳蒸发/金属蒸发镀膜或溅射蒸发二者兼有之功能，可用于SEM、TEM及薄膜样品镀膜，也常用于锂电池科研等需要在手套箱内镀膜的样品。
