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现在位置：首页>实验室常用设备>实验室常用设备>实验室自动化> MOCVD设备 NMC-4000（A）全自动PAMOCVD系统 那诺-马斯特
价 格：询价
产 地：美国更新时间：2024/3/11 11:23:07
品 牌：那诺-马斯特型 号：NMC-4000（A）
状 态：正常点击量：320
联 系 人：张经理
电 话：021-62318025
传 真：
等 级： (第 3年)
性 质：生产型,
联系我时请说在来宝网上看到的,谢谢！
NMC-4000（A）全自动PAMOCVD系统概述：NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)、PC全自动控制，完全的安全互锁。
目前，这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统，该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。
NMC-4000（A）全自动PAMOCVD系统应用：Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)
特点：
独立系统
14”不锈钢立方体腔体
1次在8”样品台上处理1个6”晶圆片或在12”样品台上处理5片4”片子
加热的气体管路
RF等离子源，自动调谐
淋浴头气体分布
1100°C的旋转样品台
N2冲洗
全自动上下载片
可以兼容到集群配置中
