Innova扫描探针显微镜（SPM）拥有高分辨率扫描性能，实用性以及从器件表征到物理，生命和材料科学的广泛应用功能。Innova是一套高效率的仪
器，简单易用，并且以最适合的成本灵活应用于最高
要求的科学研究。

Innova可极容易地获得原子级分辨率，高达90微米的扫描范围而无需更换扫描器。其集成的高分辨率色彩光学和可编程自动Z轴能够快速简易地找到特征物，替换探针或样品。

Bruker布鲁克原子力显微镜Innova

特点

杰出的闭环控制

• 准确测量所有尺寸

• 无扭曲地对任意结构进行一步缩放扫描。

• 低噪音性能

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快速而简单的探针和样品更换

• 可编程控制的Z轴

• 预安装的探针保证了精密的激光对准

• 优越的探针与样品之间的物理和光学空间

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最高分辨率光学系统

• 符合人体工程学的正置光学系统

• 可软件控制马达驱动缩放和照明光强度。

• 精确探针定位

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性能

• 闭环线性化扫描可以在线启动或关闭

• 在90微米到亚微米级成像范围内均可获得高质量图像

支持全系列扫描探针显微镜模式

• Contact Mode（接触模式）

• TappingMode（轻敲模式）

• Scanning Tunneling Microscopy (扫描隧道显微镜) 

• PhaseImaging?（相位成像）

• Magnetic Force Microscopy (磁力显微镜) 

• Electrostatic Force Microscopy (静电力显微镜) 

• Conductive Atomic Force Microscopy (导电原子力显微镜) 

• Scanning Capacitance Microscopy (扫描电容显微镜) 

• Surface Potential Microscopy (表面电势显微镜) 

• Force Distance Spectroscopy（力曲线）

• Current Voltage Spectroscopy（电流-电压曲线）

• Nanoindentation（纳米压痕）

• Nanolithography（纳米刻蚀）

• And more（等等）

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Bruker布鲁克原子力显微镜Innova参数：