技术指标
1．放大倍数范围大（20X～ 20000X Digital Zoom:2x,4x，数字变焦120,000X）
2．分辩率：15nm
3．加速电压： 1kv – 20kv
4．探测器： SEI（二次电子探测器），BEI（背散射电子探测器）/EDS(能谱仪)
5．图像大小： 4096×4096
6．图像格式： JPG，TIFF，BMP，PNG
7．数据显示： Micron Bar, Magnificaiton, Date, Kv
8．电压： 110v或220v
9．自动操作，自动加高压、调灯丝电流等
10．具有自动图像调整功能（自动亮度/对比度，自动聚焦，自动消像散等）
11．移动范围宽（X:20mm, Y:20mm, R:360, 高度可调）
12．腔室尽寸大（最大样品直径为75 mm，样品高度为15 mm，但通过定制样品座可观察更大样品高度）
13．图像储存像素大（640×480, 1280×960, 2560×1920）
14．全自动抽真空(涡轮分子泵+机械泵)，无需冷却循环水
15．预对中灯丝
16．可选性强，可选配能谱仪EDS/波谱仪WDS
17．具有二次电子探测器(与通常大电镜使用的探测器同，图像质量好)，背散射电子探测器可选
18．NanoAnalysis软件可选模块，功能强大：
u 图像获取模块
图像处理
图像分析
图像操作
图像过滤
粒子计数&筛分
热成像
图像测量/标注
易于生成报告
自动保存
u 元素分布图
标准元素分布图
超快绘图
线扫描
点模式&多点
自动分析（每个像素的图谱）
ColorSEM-快速成像
重点成像
热成像
容易生成报告
自动保存
u 高级特征
化学鉴定
痕量灵敏度分析
关键测量
3D成像
3D测量
自动分析（每个像素的谱图）
远程会议
立体成像
同步分析
VideoSEM-视频制作
