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便携式氦质谱检漏仪 ASM 310
上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 设计紧凑, 重量 21kg, 占用空间小, 前级泵清洁, 通用电压, 满足无任何污染工艺要求. 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 是市场上同类型检漏仪中轻便紧凑的产品!
便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 特性：
1. 集成无oil真空系统: 隔膜泵 MVP 020 1.7 m3/h 粗抽能力 + ATH 系列涡轮分子泵
2. 支持真空或吸枪检漏模式, 重量 21 Kg
3. 氦气抽速 1.1l/s, 进气口压力 15 hPa
4. 丰富的可选配件: 吸枪, 遥控器, 小推车, 标准漏孔等, 兼容 RC 10 遥控器
5. 带有可伸缩手柄的灵巧设计
6. 可以在任何位置操作: 水平或垂直, 较低的维护
7. USB 接口, 方便数据传输,
8. 带有图像功能的大屏幕高亮度彩色触摸屏, 10种语言可选
便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 技术参数：
便携式氦质谱检漏仪 | ASM 310 |
对氦气的检测漏率 | 真空模式 5E-13 Pa m3/s
吸枪模式 1E-8 Pa m3/s |
检测模式 | 真空模式和吸枪模式
检漏方法 >> |
无oil前级泵抽速 | 1.7m3/h |
检测气体 | 4He , 3He, H2 |
响应时间 | <1s |
对氦气的抽气速度 | 1.1 l/s |
进气法兰 | DN 25 ISO-KF |
进气口压力 | 15 hPa |
通讯接口 | RS-232 |
工作温度 | 10-40 °C |
噪音水平 | < 45 dB (A) |
Interface | RS-232, I/O, USB |
电压 | 90-240 V AC, 50/60 Hz, 通用电压 |
功耗 | 300 VA |
启动时间 | < 2 min |
尺寸 | 350 X 254 X 415 mm |
重量 | 21 kg |
便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 尺寸：
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便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 常用配件:
Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 应用：
1. 半导体, 镀膜, 太阳能
2. 分析仪器, 科研, 加速器质谱
3. 工业, 电厂, 化工
4. 系统集成
上海伯东检漏仪客户案例
光刻机检漏
半导体用光刻机检漏, 整机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空. 采用负压法检漏. 漏率设置 5x10-11pa m3/s. | 
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杜瓦封装检漏
内部集成红外探测器的 2m3 杜瓦封装器件, 应用于火星探测项目, 杜瓦封装器件采用真空模式检漏, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s. | 
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超高真空系统检漏
超高真空真空度一般 < E-7 mbar, 为较高的真空度, 需要对整个真空系统的焊缝, 法兰口等怀疑有漏的地方进行泄漏检测. 为实验腔体的清洁干燥, 选择前级泵为干泵的氦质谱检漏仪 | 
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