M470新产品特征

SECM自动处理曲线

SECM用户自定义处理曲线步长变化

高分辨率读取

手动或自动调节相位

M470同时具备如下特点：

倾斜校正

X或Y曲线相减（5阶多项式）

2D或3D快速傅里叶变化

实验，探针移动和区域绘图的自动排序

图形实验测序引擎（GESE）

支持多区域扫描

所有实验多个数据视图

峰值分析

M470是由Uniscan仪器开发的第四代扫描探针系统，具有更高规格和更多探针技术。

M470技术参数

工作站（所有技术）

扫描范围（x,y,z）           大于100nm

扫描驱动分辨率              最高0.1nm

闭环定位                    线性零滞后编码器，直接实时读出x,z和y位移

轴分辨率（x,y,z）            20nm

最大扫描速度                 12.5mm/s

测量分辨率                   32-bit解码器@高达40MHz

压电（ic-和ac-扫描探针技术）

振动范围                20nm~ 2μm峰与峰之间1nm增量

最小振动分辨率          0.12nm(16-bit DAC,4μm)

压电晶体伸展            100μm

定位分辨率              0.09nm(20-bit DAC ,100μm)

机电

扫描前端                500×420×675mm(H×W×D)

扫描控制单元            275×450×400mm(H×W×D)

功率                    250W

扫描电化学显微系统（SECM）

交流扫描电化学显微镜系统（ac-SECM）

间歇接触扫描电化学显微镜系统（ic-SECM）

微区电化学阻抗测试系统(LEIS)

扫描振动点击测试系统（SVET）

电解液微滴扫描系统（SDS）

交流电解液微滴扫描系统（ac-SDS）

扫描开尔文探针测试系统（SKP）

非触式微区形貌测试系统（OSP）

出色的性能

快速精准的闭环定位系统为电化学扫描探针纳米级研究的需求而特别设计。结合Uniscan 独特的混合型32-bit DAC技术，用户可以选择合适实验研究的最佳配置

先进和灵活的工作平台

系统可提供9种探针技术，使得M470成为全球最灵活的电化学扫描滩镇工作平台。

全面的附件

7种模块可选，3种不同电解池，各式探针，长距显微镜以及后处理数据分析软件。