离子溅射仪

使用膜厚监控编辑

1.打开总电源，打开氩气开关（两成保持在0.035Mpa左右，溅射时也要注意氩气的流量）。

2.按主机背面的开关按钮，进入开机界面，根据提示进行下面一系列的操作。

3.接下来仪器就开始自动洗靶，自动溅射，溅射结束后要稍等片刻，然后按stop放气。待放气操作完成后，开盖，取出样品。

4.Target B type操作同上。

不使用膜厚监控编辑

1.其余操作步骤同上，但要根据自己的需要设置溅射电流和溅射时间（最长时间是4min），和循环次数（最多循环9次），按上下键设置时间。

2.接下来仪器就开始自动洗靶，自动溅射，溅射结束后要稍等片刻，然后按stop放气。待放气操作完成后，开盖，取出样品。

3.B靶操作同A靶。