洁净室施工及验收规范JGJ71—90 之洁净室综合性能检测方法

一、过滤器检漏
　　对于安装于送、排风末端的高效过滤器，应用扫描法进行过滤器安装边框和全断面检漏。扫描法有检漏仪法（光度计法）和采样量最小为1l/min的粒子计数器法两种。对于超高效过滤器，扫描法有凝结核计数器法和激光粒子计数器法两种。
　　2检漏仪法检漏
　　（1）被检漏过滤器必须已测过风量，在设计风速的80%～120%之间运行。
　　（2）在同一送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。
　　（3）当几台或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合,宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引入检漏用气溶胶，立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。
　　（4）对于高效过滤器，当检漏仪表为对数刻度时，上风侧气溶胶浓度应超过仪表最小刻度的104倍；当检漏仪表为线性刻度时，上风侧气溶胶浓度需达到80～100μｇ/L。检漏仪表应具有0.001～100μｇ/L的测量范围。
3粒子计数器法检漏
　　（1）被检过滤器必须已测过风量，在设计风速的80%～120%之间运行。
　　（2）在被检高效过滤器上风侧测定大气尘的微粒数，以大于或等于0.5μｍ微粒为准，其浓度必须大于或等于 若检测超高效过滤器，则以大于或等于0.1μｍ微粒为准，其浓度必须大于或等于
　　（3）若上风侧浓度不符合上项规定，则应引入不经过滤的空气，如果还达不到规定，则不宜用粒子计数器法和凝结核计数器法检漏。
　　4检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2～3cm处，以5～20mm燉ｓ的速度移动，对被检过滤器整个断面、封头胶和安装框架处进行扫描。
　　二、风量和风速的检测
　　1风量风速检测必须首先进行，净化空调各项效果必须是在设计的风量风速条件下获得。
　　2风量检测前必须检查风机运行是否正常，系统中各部件安装是否正确,有无障碍（如过滤器有无被堵、挡），所有阀门应固定在一定的开启位置上，并且必须实际测量被测风口、风管尺寸。
　　3对于单向流（层流）洁净室，采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量,其中垂直单向流（层流）洁净室的测定截面取距地面0.8m的水平截面；水平单向流（层流）洁净室取距送风面0.5m的垂直截面。截面上测点间距不应大于2m，测点数应不少于10个,均匀布置。仪器用热球风速仪。
　　4对于乱流洁净室，采用风口法或风管法确定送风量，做法分别见第6项、第7项和第8项。
　　5对于不安装过滤器的风口，可按现行国家标准《通风与空调工程施工及验收规范》GBJ243附录一的方法执行。
　　6对于安有过滤器的风口，根据风口形式可选用辅助风管，即用硬质板材做成与风口内截面相同、长度等于2倍风口边长的直管段，连接于过滤器风口外部，在辅助风管出口平面上，按最少测点数不少于6点均匀布置测点，用热球风速仪测定各点风速。以风口截面平均风速乘以风口净截面积确定风量。
　　7对于安有同类扩散板的风口,可以根据扩散板的风量阻力曲线（出厂风量阻力曲线或现场实测风量阻力曲线）和实测扩散板阻力（孔板内静压与室内压力之差），查出风量。测定时用微压计和细毕托管，或用细橡胶管代替毕托管,但都必须使测孔平面与气流方向平行。
　　 　此外，也可以采用经专业检测部门认可的其他方法。
　　8对于风口上风侧有较长的支管段且已经或可以打孔时,可以用风管法确定风量。测定断面距局部阻力部件距离，在局部阻力部件前者不少于3倍管径或3倍大边长度，在局部阻力部件后者不少于5管径或5倍大边长度。
　　9对于矩形风管，将测定截面分成若干个相等的小截面，每个小截面尽可能接近正方形，边长最好不大于200mm ,测点设于小截面中心，但整个截面上的测点数不宜少于3个。
　　对于圆形风管，应按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数。
　在风管外壁上开孔，以便插入热球风速仪测杆或毕托管。用毕托管时先测定动压，然后由下式确定风量：　　 

　　三、静压差的检测
　　1静压差的测定应在所有的门关闭时进行，并应从平面上最里面的房间依次向外测定。
　　2对于洁净度高于100级的单向流（层流）洁净室，还应测定在门开启状态下，离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数，在出入口的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。
　　四、单向流（层流）洁净室截面平均风速、速度不均匀度的检测
　　1测定截面、测点数和测定仪器应符合本附录二、3项的规定。
　　2测定风速宜用测定架固定风速仪以避免人体干扰，不得不手持风速仪测定时，手臂应伸直至最长位置，使人体远离测头。
　　五、室内洁净度的检测
　　1测定洁净度的最低限度采样点数按附表6.1的规定确定。每点采样次数不少于3次，各点采样次数可以不同。
面积（m2） 洁净度
注：表中面积的含义是：对于单向流（层流）洁净室，是指送风面面积，对于乱流洁净室，是指房间面积。
2测定洁净度的最小采样量按附表6.2的规定确定。
　　每次采样的最小采样量（L）附表6.2
  粒径（μm）
 0.1 0.2 0.3 0.5 5
11010010001000010000 172.83 858.52.83 19819.82.8 56656.65.62.82.82.8 858.58.5
　　 
　　3对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向，对于乱流洁净室，采样口宜向上。采样速度均应尽可能接近室内气流速度。
　　4洁净度测点布置原则是：
　　（1）多于5点时可分层布置，但每层不少于5点；
　　（2）5点或5点以下时可布置在离地0.8m高平面的对角线上（附图6.1），或该平面上的两个过滤器之间的地点，也可以在认为需要布点的其他地方。
　　　　　　注：室内洁净度的检测也可根据建设单位或设计的要求，按现行国家标准《洁净厂房设计规范》GBJ73附录二的规定执行。
六、室内浮游菌和沉降菌的检测
　　1室内浮游菌测点和洁净度测点可相同；采样必须按所用仪器说明书说明的步骤进行，特别要注意检测之前对仪器消毒灭菌。
　　2沉降菌测定时，培养皿应布置在有代表性的地点和气流扰动极小的地点，培养皿数可与按附表6.1确定的采样点数相同，但培养皿最少数量应满足附表6.3的规定。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 表　6.3最少培养皿数附　　　
洁净度级别 所需90培养皿数（以沉降0.5h计）
高于100级100级1000级10000级100000级 4414522
　　七、室内空气温度和相对湿度的检测
　　1室内空气温度和相对湿度测定之前，净化空调系统应已连续运行至少24h。对有恒温要求的场所，根据对温度和相对湿度波动范围的要求，测定宜连续进行8～48h，每次制定间隔不大25于30min。
　　2根据温度和相对湿度波动范围，应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定。
　　3室内测点一般布置在以下各处：
　　（1）送、回风口处；
　　（2）恒温工作区内具有代表性的地点（如沿着工艺设备周围布置或等距离布置）；
　　（3）室中心（没有恒温要求的系统，温、湿度只测此一点）；
　　（4）敏感元件处。
　　所有测点宜在同一高度，离地面0.8m。也可以根据恒温区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平面上。测点距外墙表面应大于0.5m。
　　4测点数按附表6.4确定。
　　                                                                   　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　6.4温、湿度测点数附表
波动范围 室面积≤50m2 每增加20～50m2
±0.5～±2℃±5～±10%RH 5 增加3～5
≤0.5℃≤5%RH 点间距不应大于2m，点数不应少于5个
八、室内噪声的检测
　　1测噪声仪器为带倍频程分析仪的声级计。一般只测A声级的数值，必要时测倍频程声压级。
　　2测点位置：宜按附图6.1的5点设置，面积在15m2以下者，可用室中心1点；测点高度距地面1.1m。
　　九、照度的检测
　　1室内照度可用便携式照度计测定。
　　2室内照度必须在室温已趋稳定、光源光输出趋于稳定（新安的日光灯必须已有100h、白炽灯已有10h的使用期；旧日光灯必须已点燃15min，旧白炽灯已点燃5min）后进行。
　　3洁净室照度只测定除特殊局部照明之外的一般照明。
　　4测点平面离地面0.8m，按1～2m间距布置，测点距离墙面1m（小面积房间为0.5m）。
十、室内微振的检测
　　1用能满足检测精度要求的振动分析计测定。
　　2测点选在室中心地面和认为有必要测定振动的位置的地面上，以及各壁板（装配式洁净室则为每一独立壁板）表面的中心处。
　　3应分别测出室内全部净化空调设备正常运转和停止运转两种情况下X、Y、Z即长轴、横轴和垂直轴三个方向的振幅值，特别注意测定同转动设备的转速相对应的频率下的振幅。
　　十一、表面导静电性能的检测
　　1地面、墙面和工作台面等表面导静电性能应用符合精度要求的高阻计检测。
　　2在表面上选定的代表区域的两点间检测，可选用附图6.2的测试装置。
　　 

　　十二、室内气流流型的检测
　　1测点布置：
　　垂直单向流（层流）洁净室选择纵、横剖面各一个，以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一个；水平单向流（层流）洁净室选择纵剖面和工作区高度水平面各一个，以及距送、回风墙面0.5m和房间中心处等3个横剖面，所有面上的测点间距均为0.2～1m。乱流洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各1个，剖面上测点间距为0.2m～0.5m，水平面上测点间距为0.5～1m。两个风口之间的中线上应有测点。
　　2测定方法：用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向，并在有测点布置的剖面图上标出流向。
　　十三、流线平行性的检测
　　1用单丝线观察送风平面的气流流向，一般每台过滤器对应一个观察点。
　　2用量角器测定气流流向偏离规定方向的角度，注意避免人的干扰。
　　
十四、自净时间的检测
　　1本项测定必须在洁净室停止运行相当时间，室内含尘浓度已接近大气尘浓度时进行。如果要求很快测定，则可当时发烟。
　　2如果以大气尘浓度为基准，则先测出洁净室内浓度，立即开机运行，定时读数直到浓度达到最低限度为止,这一段时间即为自净时间如果以人工（如发巴兰香烟）为基准，则将发烟器放在离地面1.8m以上的室中心点发烟1～2min即停止，待1min后，在工作区平面的中心点测定含尘浓度，然后开机，方法同上。
　　　
　　3由测得的开机前原始浓度或发烟停止后1min的污染浓度（NO），室内达到稳定时的浓度（N），和实际换气次数（n）查附图6.3，得到
　　　 计算自净时间，再和实测自净时间进行对比。