洁净室污染源

建筑围护结构产尘（屋顶、墙、地板）

洁净室建筑表面发尘量｛粒/（min·㎡地面）≥0.5μm｝

序号	建筑表面发尘量	资料来源
1	（0.8~1）*10⁴	电子部十一院《设计通讯》1975年
2	（0.3~0.9）*10⁴	电子部十一院《苏州半导体器件一厂洁净室测定》1978年
3	0.77*10⁴	电子部十一院《北京西城半导体材料厂水平层流洁净室测定报告》1975
4	4.5*10⁴	电子部十一院《出国考察报告》(74)013 1974年

洁净室建筑表面发尘量与作业人员发尘量的比较

项目

粒径

洁净室建筑表面发尘量

｛粒/（min·㎡地面）｝

人员发尘量｛粒/(人·min)｝

静止(基本静止)

人员正常操作

≥0.5μm

1.25*10⁴

10*10⁴

50*10⁴

4、工艺生产过程产尘（与生产设备、生产工艺、生产过程有关，不同的生产过程、工艺产尘量不同）。

（来源：来宝网）

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