HEPA 过滤器被使用在cleanrooms 在许多不同的产业, 包括半导体, 配药医疗设备, 核, 和生物工艺学。HEPA 过滤器的主函数将提供干净的空气对cleanroom 。HEPA 过滤器被修建以过滤器媒介纸许多被打褶的层数; 这个设计防止微粒自由地通过通过过滤器当他们成为设陷井和棍子过滤器纤维(图1) 。有四个机制在工作: 捕获由劳损, 装紧、拦截, 和扩散(图2) 。Straining/sieving 被定义和当微粒是太大的和成为设陷井在二过滤器纤维之间。装紧是相对地更加巨大的大量微粒无法跟随弯曲的流线在纤维附近和, 由于动量, 旅行在一条直线入过滤器纤维和棍子。拦截发生当微粒“runs 的部分into” 过滤器纤维。扩散捕获发生当微粒留给流线由于任意碰撞与周围的流动性分子和碰撞纤维, 他们再黏附。
泄漏测试
ISO 14644-2 概述cleanroom 检验频率根据cleanroom 分类。一部分的这个检验包括泄漏测试HEPA 过滤器。ISO 14644-3 概述试验过程随后而来。
设备要求
湿剂发电器: 过去经常生产湿剂upstream.of HEPA 过滤器。稳定的测试湿剂有有以下发行的微粒:
- 超过20% 由微粒大量少于0.5 .m
- 超过50% 由微粒大量少于0.7 .m
- 超过75% 由大量微粒少于1.0 .m
一个年产测试应该被执行核实, 湿剂遇见这发行。
光度计: 过去经常测量HEPA 过滤器的在上游湿剂含量和顺流渗透由湿剂; 它应该至少年年被校准。
微粒逆: 过去经常测量不同的大小微粒的集中顺流HEPA 过滤器; 它应该至少年年被校准。
图1: 过滤器媒介放大x500
图2: 过滤器机制在工作
湿剂发电器产品测试
湿剂发电器产品测试, 由供应商年年执行, 核实, 湿剂发电器是能引起稳定的发行。光度计核实, sensor/optics 和流速是在容忍之内。一些新数字式光度计在市场上现在有能力核实在“power up” sensor/optics 的条件和流速作为自我诊断一部分连续地编程和改进, 因此, 单位的可靠性而不是年年等定标并且希望它通过。光度计是从污秽解脱在sensor/optics 附近的光度计操作员能是满意, 流程道路是通畅的, 单位正确地执行, 并且结果是准确的。
测试方法
一个线性光度计也许被使用测量在上游集中提供了它被校准。
这在上游集中也许被使用作为100% 参考, 使百分比渗透顺流直接地被测量。线性光度计也许被使用测试过滤器到0.01% 。
测试要求
各过滤器要求20–100 的在上游挑战.g/L 为最佳的结果。你必须发现过滤器和气流的范围通过过滤器在计算过滤器的生产量之前。生产量产品和集中必需给湿剂产品必需。供选择地, 湿剂可能被调整参考光度计在100% 。
试验过程
分散测试湿剂upstream.of HEPA 过滤器导致一致的挑战集中在这个区域20–100 的.g/L 。使用光度计, 测量在上游挑战集中。
维护这集中在测试过程中。调整湿剂发电器这样, 挑战集中在在上游过滤器面孔是在水平这样光度计可能被设置和被维护在稳定的读书100% 。光度计然后被设置在100% 。
使用同样光度计, 扫描顺流面孔和周长的全部包含海豹捕猎设备以采样探针。拿着探针大约25 毫米外从区域被测试和通过在整个区域在轻微地重叠的冲程, 以5 cm/sec 的率。记录光度计的任一平稳, 反复性的读书的地点超出0.01% 为等级A 至D 在环境洁净相关的组。参见ISO 14644-3 部分B.6.2.5 为一个更加详细的做法。
指南
应该被保重何时引起在上游湿剂作为许多湿剂将在集中过滤器并且过滤器替换将是必要的; 使用太少许湿剂并且那里也许是不足的湿剂充足地有效地扫描过滤器。谈论这些情节与达成一项协议关于在上游集中。
一旦泄漏被查出了, 过滤器的修理将是必要的, 从事manufacturer’s 做法关于修理形式媒介和指南在重新密封过滤器和执行测试在修理以后。在成功测试以后, 微粒柜台被安置在过滤器之下评估过滤器的情况, 可能被使用作为一个备份对光度计。
