KYKY-1000B型扫描电镜操作规程

一．开机

1．开启主机稳压电源和空气压缩机。
2．打开冷却水龙头。
3．打开电镜主机真空电源和STANDBY钮。待真空系统自动运行20分钟后，关闭STANDBY钮，仪器自动抽真空至指示灯由红变绿，真空表指示达到规定区域。
4．打开电镜主机控制电源。

二．样品安装

1．关闭灯丝电流，关闭高压，推入镜筒V1阀，打开镜筒放气阀。
2．待镜筒完全放气后拉出样品架，松开样品台固定锣丝，更换制备好的样品台，调节样品台倾斜角和工作距离，推入样品架。
3．关闭镜筒放气阀，仪器自动抽真空至工作状态（数分钟）。

三．扫描图象观察

1．拉出镜筒V1阀，打开高压（选择10~30kV），待束流数值稳定，缓慢转动灯丝旋钮到灯丝电流饱和位置，扫描图象显示。
2．电子束光斑尺寸选择5~7，亮度和反差调至适中。
3．在TV扫描模式下移动样品，选择合适的观察视野，在选区扫描模式下进行聚焦，在中慢扫描模式下观察图象。

四．合轴和消象散

1．用灯丝合轴钮对中电子枪灯丝至最亮。
2．对中物镜光栏至变焦时图象同心转动。
3．在高倍下用自动或手动消象散器进行消象散操作。

五．照相和电脑储存图象

1．安装120黑白胶卷，键盘输入样品名称等，在照相模式下拍照。
2．用WD-5型扫描电镜联机图象系统记录图象，设立相应文件夹进行图象储存，用U盘或光盘拷贝。

六．关机

1．关闭灯丝电流和高压。
2．逆时针调小反差和亮度旋钮，关闭电镜主机控制电源。
3．手动关闭扩散泵加热开关，待冷却水继续流动15分钟后，依次关闭主机稳压电源、空气压缩机和冷却水。
4．在记录本上记录使用情况。