软件性能对三坐标的测量精度非常重要

通过先进的计量软件，如主流的测量软件PC-DMIS，可最大限度地充分发挥扫描的作用，通过独特的直接接口选项提供了与主要CAD系统的直接连接，避免了由于格式转换而造成的偏差和失真，并且其具备完善的数据分析和报告功能。
    由于对形状的测量需要大量的数据，因此测量软件需要具备一些特殊的扫描功能以为不同特征提供相应的扫描方法。如利用过滤功能允许扫描软件能够从对于表面形状的轻微变化中进行识别，如叶片的粗糙部分，过滤器同时还可减少振动所引起的采集点变化。
    另一种特殊功能就是测头半径的修正，也称为平行曲线校准。在扫描应用中，数据需要采用平行曲线功能利用探针半径进行转换，从而再现工件曲面的真实表示。在分析过程中，利用平行曲线功能来消除扫描点与名义点之间的差异，从而计算出与名义点之间的偏差。
    测量结果需要被展示出来以帮助轻易识别可能的工件问题，发现问题所在并在过程中采取适当的措施。“制造中”和“设计中”的结果比较能够以各种图形格式进行显示，从而可快速理解和帮助探测到在制造过程中所引发的错误。偏差可以彩色编码进行绘制，同时在扫描曲面上具有名义偏差带。
    零件的编程和编辑必须是互动的，并且要充分利用CAD图形的优势。先进的扫描软件包允许三维工件几何量表示能够导入到测量程序中，自动从CAD模型上提取名义值和曲面的算术矢量。通过点击被扫描工件表面的区域和轮廓，系统可自动完成对区域和轮廓的扫描，并为采集数据进行报告。