擦（划）痕的检测——TIME3230无导头测量的应用之一

 一、擦（划）痕在微观上的表征

微观上，就是在“干净表面上”产生垂直落差、产生“起伏”。

二、触针法表面结构测量的基本原理

触针在驱动器的驱使下，在被测表面滑行，以模拟信号的方式将表面上的各种“起伏”描绘、记录下来，主机电路对此信号进行数模转换，变成数字信号，并根据表面结构各参量的定义（比如，粗糙度参数族、波纹度参数族、轮廓度参数族）进行计算，得出相应的数值。

三、触针法对擦（划）痕的测量

触针滑行，“路过”擦（划）痕，于是，擦（划）痕带来的“起伏”被描绘、记录下来，同样通过数模转换，“起伏”的程度（比如，多宽、多深、有多少波峰波谷）都可以被观察到、计算出来。

四、测量的要点

常见的粗糙度仪，测针伴着的导头。而导头起着机械滤波以及为测针提供基准的作用，这在擦痕的测量中带来两个问题：

1、把擦痕的某些深度当做非粗糙度起伏过滤掉；

2、对于那些在非线性表面上的擦痕（比如渐开线状的叶片，等等），在测量过程中，导头会把测针架空，出现超量程的现象。

因此，需要一种无导头的测量方式，保留未经滤波的表面结构的原始轮廓信号，这样才能真实反映擦痕的状况。

五、值得信赖的TIME3230

1、导头可拆卸，可以获得未经滤波的原始信号；

2、垂直量程达到800µm，基本涵盖擦（划）痕深度；

3、专用软件可以直接在轮廓曲线上计算任意一点的坐标以及任意两点间的坐标差；

4、数模转换位数为1:65000，满量程条件下，系统分辨力为12nm，示值误差可达5%

六、实测：擦痕实例（测针无导头）

实测：软件测量
（未经虑波的原始曲线，任意点的坐标以及任意两点间的坐标差）

 辅助装置：工作中的一个难题就是如何便捷地调整被测件和仪器的相对位置。可以借助“全向测量架”