监控AMC（5-5）——未来的预测

不幸的是，工厂的操作人员对污染的影响认识并不深刻，这对洁净室的管理者来说是个挑战。现在很多洁净室采用多点采样法，虽然这样可以降低每点的成本，但最大的缺陷是可能会遗漏一些数据和潜在的有污染的地方没有被检测到。

此图来自PMS公司，显示了IMS理论。

洁净室的管理者面临的另一个问题是确定哪些属于需要监控的污染物。因为不同的洁净室中面临不同的问题，确定哪种类型属于污染是困难的。比如，要判断丁基邻苯二甲酸盐的浓度

还是辛基邻苯二甲酸盐的浓度对产品有影响，或者是总的邻苯二甲酸盐的可接受浓度值？

同时，洁净室的管理者们也需将气相污染对产品的影响纳入考虑范围。监控表面分子污染（SMC）与了解气相分子浓度污染同样重要。因为气相分子薄膜冷凝到晶片或光片上就会使晶片失效，金属晶片也容易被酸性气体腐蚀。因此，公司的分析人员需提前加强监控能力以使低于万亿分之一的分子都能被检测到。

（来源：来宝网）

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