分子真空泵的使用和维护

 一、总体安装注意：

1.安装前应检查分子泵运输中是否损坏。

2.打开泵高真空端法兰盖板，波动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。

3、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。

4、确认防护网已安装，特殊情况下做特殊防护网。

5、确认已装入润滑油。

6、安装方向：油绳润滑：竖直、水平;油润滑：竖直方向+/-5;润脂油：任意角度

二、油池安装

1、拆下注油

2、油量控制

3、油池卫生、防颗粒。

4、对好、对称上紧螺钉。

5、防止有漏，减少“油黑”

三、进出口法兰、冷却水安装

1、泵入口：对正附件、对称拧紧

2、泵出口：防止错位

3、冷却水：无漏水

四、电缆安装

1.对正槽口插入

2、用螺母拧紧，边插边拧

3、检查到位

五、分子泵启动

1、启动条件：连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度

2、启动时间

   同时启动—小系统，防前级泵油上返

   延迟启动—系统容积过大，先启动前级泵，至系统压强P=200Pa，启动分子泵。

六、振动隔离、冲击防护

1、分子泵振动极小，可直接接于被抽系统。

2、冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑

   机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）

   气体振动（气量突变、压强突变）

   意外振动（掉入异物，碰撞等）

七：大气载、热气体、突变七载

引起问题：1、温度过高   2、动静片变形 3、转子上移4、润滑失效5、轴承失效

解决方法：1、加大水冷   2、缩短换油时间

八、泵不启动

   原因有：1、电源故障、可参照电源说明书

           2、连接电缆不通，用电表查连接电缆，并检查和使插座接触良好。

九、长时间启动仍达不到额定转速或停转

原因：1、系统有漏2、前级压强过高3、转向有误4、润滑油失效5、轴承损坏

十、大的振动和噪声

原因和解决方法：

1、润滑油污染或润滑油不足

2、共振：应改变装配位置及连接尺寸，并使活动件固定或加减振橡胶垫

3、动平衡破坏：单独对泵进行试转，振动、噪声仍很大应送回返修。

4、轴承损坏：检查转子转动是否灵活，有无重滞现象，轴承损坏应返修，更换轴承。

十一、真空度低

1、前级漏气2、前级泵太小3、高真空漏4、规管出气量大5、前几真空泵工作不正常